電池電極應(yīng)力測試系統(tǒng)，采用多光束光學(xué)傳感器系統(tǒng)(kSA MOS)原位實時應(yīng)力測量分析，可研究鋰離子電池反應(yīng)動力學(xué)過程中或在正常使用過程中內(nèi)部會產(chǎn)生應(yīng)力，對其電化學(xué)性能的影響；即就是在充放電過程中鋰離子電池外殼表面的應(yīng)力變化,得到了充放電循環(huán)中鋰離子電池電極表面的應(yīng)力大小與電荷狀態(tài)的關(guān)系；進而分析充放電過程中應(yīng)力變化的異同,即產(chǎn)生不可逆應(yīng)力,充放電曲線不重合。
原位薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)kSA MOS Film Stress Measurement System，又名原位薄膜應(yīng)力計或原位薄膜應(yīng)力儀！
采用非接觸激光MOS技術(shù)；不但可以對樣品表面應(yīng)力分布進行統(tǒng)計分析，而且還可以進行樣品表面二維應(yīng)力、曲率成像分析；客戶可自行定義選擇使用任意一個或者一組激光點進行測量；并且這種設(shè)計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應(yīng)力分析；
主要特點：
1.MOS 多光束傳感器技術(shù)；
2.單Port(樣品正上方)和雙Port(對稱窗口)系統(tǒng)設(shè)計；
3.適合MOCVD, MBE, Sputter，PLD、蒸収系統(tǒng)等各種真空薄膜沉積系統(tǒng)以及熱處理設(shè)備等；
4.薄膜應(yīng)力各向異性測試和分析功能；
5.生長速率和薄膜厚度測量；（選件）
6.光學(xué)常數(shù)n&k 測量；（選件）
7.多基片測量功能；（選件）
8.基片旋轉(zhuǎn)追蹤測量功能；（選件）
9.實時光學(xué)反饋控制技術(shù)，系統(tǒng)安裝時可設(shè)置多個測試點；
10.優(yōu)化設(shè)計免除了測量丌受真空系統(tǒng)振動影響；
測試功能：
1.實時原位薄膜應(yīng)力測量
2.實時原位薄膜曲率測量
3.實時原位應(yīng)力*薄膜厚度曲線測量
4.實時原位薄膜生長全過程應(yīng)力監(jiān)控等
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